Азербайджанское Государственное Информационное Агентство

МИР

Литография с использованием лазера и кремния останется главным способом выпуска чипов и в следующем десятилетии

Литография с использованием лазера и кремния останется главным способом выпуска чипов и в следующем десятилетии

Баку, 13 июня, АЗЕРТАДЖ

Еще в мае являющаяся лидером в сегменте литографических сканеров компания ASML рассказала о перспективах появления к началу следующего десятилетия систем, позволяющих работать со сверхвысоким значением числовой апертуры – 0,75 (Hyper-NA EUV).

Как передает АЗЕРТАДЖ со ссылкой на журнал электронной промышленности США EE Times, представители Imec утверждают, что и в следующем десятилетии литография не откажется от использования лазеров и кремния.

Своими соображениями в интервью EE Times поделился директор Imec по передовым программам экспозиции Курт Ронзе (Kurt Ronse). Эта бельгийская компания более 30 лет помогает ASML осваивать новые технологии при разработке литографических сканеров, поэтому говорить о перспективе их дальнейшего развития он имеет полное право. Уже сейчас, готовясь перейти к литографическим сканерам с высоким (0,55) значением числовой апертуры (High-NA EUV), производитель оборудования сталкивается с некоторыми проблемами.

В частности, при таком значении числовой апертуры уже начинает проявлять себя поляризация света, снижая контрастность проецируемого на кремниевую пластину изображения. Для борьбы с нею можно использовать поляризационные фильтры, но они повышают энергопотребление оборудования и себестоимость продукции. При переходе к Hyper-NA EUV, как поясняет представитель Imec, проблемой станет поиск новых фоторезистивных материалов, поскольку даже при значении числовой апертуры 0,55 толщина их слоя уменьшается, а это ухудшает точность последующего химического травления.

По словам Курта Ронзе, TSMC не торопится переходить на High-NA EUV благодаря наличию у компании опыта работы с множественными фотошаблонами. Intel таким опытом в достаточной мере не обладает, а потому предпочитает просто перейти на более дорогое оборудование с более высокой разрешающей способностью. Применение двойного шаблонирования потребовало бы более точного позиционирования фотомасок, компания Intel в этой сфере просто не обладает достаточным опытом. По мнению представителя Imec, компания TSMC решится перейти на использование High-NA EUV ближе к концу текущего десятилетия.

В любом случае, подобное оборудование найдет свое применение при производстве чипов с использованием литографических норм тоньше 2 нм — вплоть до 7 ангстрем. После этого нужно будет применять литографические сканеры со сверхвысоким значением числовой апертуры (Hyper-NA EUV). Такой переход позволит отказаться от двойного шаблонирования, поскольку последний метод увеличивает затраты на оснастку и удлиняет производственный цикл, повышая себестоимость продукции.

Исследователи рассматривали несколько альтернатив литографическому оборудованию со сверхвысоким значением числовой апертуры, по данным Imec. Одной из них является технология нанопечати транзисторов, но по своей производительности данный метод сильно уступает даже сканеру High-NA EUV. Еще одной альтернативой считалось использование нескольких направленных потоков электронов для формирования нужного рисунка на кремниевой пластине, но единственный производитель подходящего оборудования разорился.

Применение новых материалов вместо кремния пока тоже затруднено, поясняет представитель Imec. Существуют материалы с более высокой подвижностью электронов, но их очень сложно нанести на пластину, которая при этом продолжит оставаться кремниевой. Оборудование для нанесения новых материалов будет сочетаться с новыми химикатами, и соответствующие эксперименты уже ведутся в лабораториях, но они пока далеки от массового применения.

Разместите информацию в социальных сетях

Следите за нами в социальных сетях

Отправная точка пути Азербайджана к великим свершениям и победе – 14 июля 1969 года

Герои со схожей судьбой: Полад Гашимов и Ильгар Мирзоев

Сегодня проводятся вступительные экзамены в высшие учебные заведения по I и IV группам специальностей

Турецкий депутат: Победа Азербайджана укрепила атмосферу единства в тюркском мире

В Генеральном консульстве Азербайджана в Стамбуле начался прием наших соотечественников, проживающих в Турции

Начинается регистрация на автопробег классических автомобилей

Европейская универсиада: Азербайджанские шахматисты завоевали серебряную медаль в соревнованиях по блицу

Фарид Гаибов выступил на мероприятии по Европейской гимнастике

Состоялось мероприятие на тему «14 июля – переломный период современной истории Азербайджана»

Мехрибан Алекберзаде удостоена премии Межпарламентской ассамблеи СНГ имени Чингиза Айтматова

Портофино: Портовый город Италии, который «пахнет любовью» - ФОТОРЕПОРТАЖ

В Абшеронском национальном парке организована выставка поделок из отходов

ЦИК Азербайджана подготовила «Памятку для членов экспертных групп»

Обсуждены перспективы повестки сотрудничества между Азербайджаном и ОБСЕ

Глава МВД Турции: До 40 процентов террористов FETÖ находятся в США и Германии

Семь гимнастов Азербайджана вышли в финал международного турнира

Министр спорта Франции искупалась в Сене в гидрокостюме

Названы лекарства, которые нужно с осторожностью принимать в жару

Рубен Рубинян: Армения готова в короткие сроки подписать мирный договор с Азербайджаном

В Ханкенди состоялось заседание рабочей группы по экономическим вопросам Межведомственного центра

В послевоенный период 476 военнослужащих обеспечены 572 высокотехнологичными протезами

Эксперты ООН: население Земли достигнет пика к 2080 году, потом начнет снижаться

Определены бадминтонисты, которые представят Азербайджан на Европейской Универсиаде

В поселке Зиря очищена от мусора территория площадью 1,5 гектара

Обнародован прогноз погоды на 14 июля

Президент Ильхам Алиев принял генерального секретаря ОБСЕ  ОБНОВЛЕНО ВИДЕО

Британский режиссер экранизирует «Грозовой перевал» Эмили Бронте

На учениях «Бірлестік-2024» военнослужащие Азербайджанской армии демонстрируют профессионализм ВИДЕО

В Ташкенте появится вторая гастрономическая улица

В Турции пройдут многочисленные мероприятия в память о героях 15 июля

На июль-август в большинстве отелей Лянкярана свободных мест нет - РЕПОРТАЖ

Севиль Керимова: Создавать работы в digital art не менее сложный процесс, чем писать на холсте

Азербайджанские рестораторы блестяще выступили на Всемирном кулинарном конкурсе в Малайзии

В Узбекистане впервые создан рейтинг «зеленых» городов

Литовский стартап Broswarm разрабатывает технологии обнаружения мин

Илон Маск жертвует средства на кампанию Трампа, но втайне

Обнародовано количество боеприпасов, обнаруженных в Ханкенди и Шуше за прошедшую неделю

Агентство CawaMedia посвятило статью Карабахской декларации

Европейская Универсиада: Азербайджанские шахматисты заняли первое место по рапиду

Петр Глыбочко: Связи между Сеченовским университетом и его Бакинским филиалом являются отражением большой дружбы народов России и Азербайджана

Президент Ильхам Алиев: Дружественные отношения и сотрудничество между Азербайджаном и Монтенегро имеют хорошие традиции

Президенту Монтенегро Его превосходительству господину Якову Милатовичу

Председатель парламента ТРСК сообщил о скором визите азербайджанских депутатов в Лефкошу

Цена барреля азербайджанской нефти превысила 90 долларов

Петру Глыбочко вручен орден «Достлуг» ВИДЕО

Цены на нефть на мировых биржах снизились

® AccessBank опубликовал финансовые результаты за первую половину 2024 года

Министерство культуры и Агентство интеллектуальной собственности опубликовали совместную информацию о песне «Карабах»

В Тбилиси прошел семинар, посвященный COP29

Государственный визит Президента Ильхама Алиева в Пакистан в центре внимания мировых СМИ

Виктор Орбан продолжает активную дипломатию

В ФРГ предотвращена попытка убийства оружейного босса

Состоялось очередное заседание Центральной избирательной комиссии

Считавшийся пропавшим без вести в Первой Карабахской войне Имамеддин Алиев похоронен в Агдаше

Спустя 32 года в селе Забух Лачинского района открылся первый детский сад

Минуло 4 года после Июльских боев: РЕПОРТАЖ из села Дондар Гушчу, подвергшегося артиллерийскому обстрелу

В послевоенный период пакет социальной поддержки членов семей шехидов и участников войны охватил 128 тысяч человек

«Желтый» и «оранжевый» предупреждения Национальной гидрометеорологической службы в связи с ветром

Азербайджанские гимнасты вышли в финал турнира в Португалии

Чуфу – родина великого китайского мыслителя и философа Конфуция - ФОТОРЕПОРТАЖ

® Kapital Bank объявил финансовые результаты за II квартал 2024 года

Состоялась встреча с победителями олимпиады «Возвращение в Западный Азербайджан»

«Суперджет» с 3 членами экипажа упал под Коломной во время тестового полета после ремонта

В Анкаре планируется концерт памяти Ахмеда Джавада

В США на нефтяную компанию наложили рекордный штраф 64,5 миллиона долларов за выбросы в атмосферу

Обнаруженные в Эдилли останки шехида Мугана Алиева похоронены в Физули ВИДЕО

Определились финалисты четвертого конкурса «Восхождение»

Азербайджанские гимнасты завоевали бронзовую медаль на международном турнире

Неповрежденные хромосомы обнаружены в стопе мамонта

В Саатлы захоронены останки женщины и ее сына, пропавших в Карабахе 31 год назад ВИДЕО

Обнародован прогноз погоды на 13 июля

В Трабзоне прошел товарищеский матч детских футбольных команд Азербайджана и ТРСК

В Бакинской высшей школе нефти прошел День братьев и сестер

«Татнефть» войдет в проект по разработке месторождения Биби-Эйбат в Азербайджане

® Владельцы карты рассрочки Birbank смогут выиграть 150 000 AZN

Иностранные студенты из 21 страны мира пройдут практику в «Ени клиника»

® Банк АВВ обновил филиал в Гейгеле

Ураган «Берил» нанес серьезный ущерб странам Карибского бассейна

У побережья Перу произошло землетрясение

Минздрав организовал в городе Физули выездные медосмотры населения

Останки погибших 32 года назад 6 шехидов захоронены в Ходжавендском районе ВИДЕО

ООН: Миграция станет основным драйвером роста населения

® OOO ADORE представляет новый концептуальный магазин парфюмерии и косметики - Voyage Beaute!

В Узбекистане внедряют новую систему учета электроэнергии

Военные специалисты Азербайджана провели курс по кибербезопасности в Казахстане

Впервые в Азербайджане будет сформирована кластеризация в области хлопководства на основе опыта Узбекистана

Завершился государственный визит Президента Азербайджана Ильхама Алиева в Пакистан ВИДЕО

Глава Минфина: Проблема дефицита торгового баланса сходит с повестки дня Турции

Ознакомление с военной выставкой в Национальном парке аэрокосмической науки и технологий в Исламабаде на территории базы Нур-Хан Военно-воздушных сил Пакистана ОБНОВЛЕНО ВИДЕО

Франция ожидает худший урожай пшеницы за последние 4 года

В Исламабаде состоялась встреча Президента Азербайджана Ильхама Алиева и Президента Пакистана Асифа Али Зардари в расширенном составе  ОБНОВЛЕНО-2 ВИДЕО

Клубы Серии А могут исключить из еврокубков

Личный состав Министерства обороны посетил Вторую Аллею шехидов

Азербайджан получил очередную лицензию на Паралимпийские игры в Париже

Болонская книжная ярмарка приглашает к участию иллюстраторов детских книг

Центральную и южную Европу накрыла экстремальная жара

Зеленский: Гарантии безопасности не подменяют цель вступить в НАТО

Представители поколения зумеров все чаще отказываются работать и учиться

В Киеве аномальная жара: зафиксировано сразу три температурных рекорда

Председатель Милли Меджлиса встретилась со спикерами парламентов Беларуси и Эфиопии